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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xilinpingan

新虫 (初入文坛)

[求助] 加工亚波长金属光栅基底选用ZnSe如何采购? 已有1人参与

如题,课题需要做这个,但是我不知道基底材料尺寸怎么选。对应长波红外波段,我是选择了ZnSe, 但是看网上搜ZnSe都是卖窗口片或者叫Wafer的,wafer会影响我光栅的偏振性能吗?另外窗口片可以吗,3mm厚度会不会太厚?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

ZnSe晶体是常见的长波红外透射材料。
所谓的窗口片和wafer是类似的,只是行业不同,叫法不同。一般来说,wafer可能会薄一些。
对于做光栅,只要材料一样,叫wafer也好,窗口片也好,都是一样的。麻烦的在于后续的工艺,比如光刻,要求你的衬底不能太厚,太厚了光刻机进不去。3mm比较厚,但是刚好能满足光刻的要求,再厚就麻烦了。
另外,要注意一点,就是一般窗口片时有增透膜的,这个对你的光栅有什么影响,对你后面做光刻和长金属的工艺有什么影响,你要考虑清楚。
还有,做金属光栅,你要做光刻,最好是先用硅片来做样品,然后再上ZnSe晶体做正式片。你们有自己光刻和做金属的能力吗?

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2楼2017-01-03 16:04:43
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xilinpingan

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-01-03 16:04:43
ZnSe晶体是常见的长波红外透射材料。
所谓的窗口片和wafer是类似的,只是行业不同,叫法不同。一般来说,wafer可能会薄一些。
对于做光栅,只要材料一样,叫wafer也好,窗口片也好,都是一样的。麻烦的在于后续的 ...

多谢回答,我曾在别人相关问题的帖子里看到答主的回复,没想到在我楼里也能有您回应,真是解答了一些我的疑问!

我们学院其他实验室(老师需要我和其他组联合)有纳米压印/EBL/紫外光刻/金属沉积设备之类的,但是学院EBL嫌麻烦,我需要的模板比较复杂,我需要找外卖弄去加工模板,然后自己在这边光刻或者压印。现在在纠结做哪种模板比较好,虽然已经画了图。
3楼2017-01-10 11:02:36
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