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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜求助！

大家好，最近用PLD覆膜出现问题，求助！

我是用PLD覆GaN膜，之前覆膜都没问题。之前有一天我调了靶托高度上升4并调整光路让激光打到靶材上（原来靶基距约为10，调整后为6），之后我多次覆膜，每次基片上都有很多的特别小的颗粒，像灰尘那种。并且靶材消耗也明显比之前快了许多，尝试增加了气体氛围等，仍然没什么效果。

因为这个问题困扰了一段时间了，很是心累，，向各位懂PLD的大神求助！谢谢！！
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1楼 2016-12-29 09:13:35
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Carver123

捐助贵宾 (小有名气)
距离近了，当然容易形成小颗粒，可以降低一下激光器的功率试试

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2楼2017-01-17 01:07:11
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13015538501

新虫 (初入文坛)
同意楼上回复

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3楼2017-05-24 11:51:35
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