| 查看: 464 | 回复: 2 | ||
[求助]
PLD镀膜求助！
|
|
大家好，最近用PLD覆膜出现问题，求助！ 我是用PLD覆GaN膜，之前覆膜都没问题。之前有一天我调了靶托高度上升4并调整光路让激光打到靶材上（原来靶基距约为10，调整后为6），之后我多次覆膜，每次基片上都有很多的特别小的颗粒，像灰尘那种。并且靶材消耗也明显比之前快了许多，尝试增加了气体氛围等，仍然没什么效果。 因为这个问题困扰了一段时间了，很是心累，，向各位懂PLD的大神求助！谢谢！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
法国国家科研中心（CNRS）招聘化学或高分子材料方向2026年CSC公派留学人员
已经有10人回复
-
法国国家科研中心（CNRS）招聘化学或高分子材料方向2026年CSC公派留学人员
已经有10人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有220人回复
-
黄色氧化锆
已经有1人回复
-
【求助】静电纺丝PVA膜交联硼酸
已经有0人回复
-
熔融降温一步法制备微晶玻璃
已经有6人回复
-
α-半水石膏酸溶液法制备
已经有0人回复
-
招收申请审核制博士研究生，硬碳、硅碳等碳基电化学储能材料方向
已经有3人回复
-
分子动力学玻璃模拟中成键问题
已经有0人回复
-
定制雾化喷头
已经有0人回复
-
无机非金属材料-申博
已经有23人回复
2楼2017-01-17 01:07:11
13015538501
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 61.8
- 红花: 2
- 帖子: 14
- 在线: 3.9小时
- 虫号: 6596043
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 无机非金属类高温超导与磁
3楼2017-05-24 11:51:35