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[求助]
PLD镀膜求助！
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大家好，最近用PLD覆膜出现问题，求助！ 我是用PLD覆GaN膜，之前覆膜都没问题。之前有一天我调了靶托高度上升4并调整光路让激光打到靶材上（原来靶基距约为10，调整后为6），之后我多次覆膜，每次基片上都有很多的特别小的颗粒，像灰尘那种。并且靶材消耗也明显比之前快了许多，尝试增加了气体氛围等，仍然没什么效果。 因为这个问题困扰了一段时间了，很是心累，，向各位懂PLD的大神求助！谢谢！！ |
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