| 查看: 468 | 回复: 2 | ||
[求助]
PLD镀膜求助！
|
|
大家好，最近用PLD覆膜出现问题，求助！ 我是用PLD覆GaN膜，之前覆膜都没问题。之前有一天我调了靶托高度上升4并调整光路让激光打到靶材上（原来靶基距约为10，调整后为6），之后我多次覆膜，每次基片上都有很多的特别小的颗粒，像灰尘那种。并且靶材消耗也明显比之前快了许多，尝试增加了气体氛围等，仍然没什么效果。 因为这个问题困扰了一段时间了，很是心累，，向各位懂PLD的大神求助！谢谢！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
急急急，请教各位材料前辈，纳米笼的官方定义，尺寸是不是＜10nm？
已经有5人回复
-
求各位推荐几家靠谱的能够用BI-200SM仪器测试DLS的高校或者机构
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有170人回复
-
北京市自然科学基金面上项目成员组成请教
已经有1人回复
-
E51＋金属镓固化后有很多气泡怎么搞
已经有2人回复
-
请问癸二酸可以和碳酸二苯酯发生酯交换反应吗，条件是什么？感谢！
已经有8人回复
-
26年申博求助
已经有3人回复
2楼2017-01-17 01:07:11
13015538501
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 61.8
- 红花: 2
- 帖子: 14
- 在线: 3.9小时
- 虫号: 6596043
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 无机非金属类高温超导与磁
3楼2017-05-24 11:51:35