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硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧,形成一层高硼硅玻璃,不用HF,怎么去除? 已有1人参与
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硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧,1100度左右,形成一层高硼硅玻璃,不用HF,怎么去除?硅片一部分是有二氧化硅层,一部分是裸露的N型硅片,想扩散硼。我用一种玻璃磨砂液,这种磨砂液没有危险,但是只能刻蚀二氧化硅,高硼硅就没办法,但是又不想用HF,太危险,有没有别的办法?谢谢各位了 还有再问问 磷酸 液体的那种,直接旋涂,然后再高温炉里烧,能扩散出PN节吗? |
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