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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧，形成一层高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？
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新虫 (初入文坛)

[交流] 硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧，形成一层高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？ 已有1人参与

硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧，1100度左右，形成一层高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？硅片一部分是有二氧化硅层，一部分是裸露的N型硅片，想扩散硼。我用一种玻璃磨砂液，这种磨砂液没有危险，但是只能刻蚀二氧化硅，高硼硅就没办法，但是又不想用HF，太危险，有没有别的办法？谢谢各位了
还有再问问 磷酸 液体的那种，直接旋涂，然后再高温炉里烧，能扩散出PN节吗？
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1楼 2016-12-28 12:49:50
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马文萍36

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧，形成一层高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？

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2楼2016-12-31 07:12:40
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