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硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧，形成一层高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？ 已有1人参与
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硅片放在氮化硼舟里放高温炉里烧，1100度左右，形成一层高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？硅片一部分是有二氧化硅层，一部分是裸露的N型硅片，想扩散硼。我用一种玻璃磨砂液，这种磨砂液没有危险，但是只能刻蚀二氧化硅，高硼硅就没办法，但是又不想用HF，太危险，有没有别的办法？谢谢各位了 还有再问问 磷酸 液体的那种，直接旋涂，然后再高温炉里烧，能扩散出PN节吗？ |
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2楼2016-12-31 07:12:40