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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求问：薄膜成分深度检测方法。
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niuchaonan

银虫 (正式写手)

[交流] 求问：薄膜成分深度检测方法。

有一个铝合金试样，表面镀2微米铜，想检测一下镀层与基体之间的元素成分，目前查阅文献知道XPS可以做深度方向的成分检测，想问一下XRF可以做吗？
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1楼 2016-12-27 14:24:15
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caiqi

至尊木虫 (职业作家)
★
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
带能谱的断面扫描或透射电镜吧

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8楼2016-12-27 14:50:03
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小卉leaf

金虫 (著名写手)
★
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
AES饿歇能谱

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13楼2016-12-27 15:06:42
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青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
祝好
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17楼2016-12-27 15:32:04
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
主要看设备有没有Ar离子轰击这个附件，XPS做深度剖析就是用Ar轰击薄膜，检测不同深度的元素的。不过你的薄膜太厚了，Ar轰击减薄的速度很慢的，也就几个纳米每小时，你这么厚的薄膜估计是搞不到基体上的
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18楼2016-12-27 15:35:03
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fulei-2009

新虫 (正式写手)
★
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
我觉得扫描电镜打能谱比较好

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21楼2016-12-27 16:23:22
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sudaecho

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个深度xps测不了，xps一般深度剖析100纳米，xrf测试深度可以。

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24楼2016-12-27 19:14:37
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zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
祝 你 好 运 ！
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25楼2016-12-27 19:23:10
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287164452

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
26楼2016-12-28 13:10:05
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longseaker

捐助贵宾 (小有名气)
断面做电镜

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27楼2016-12-29 23:21:58
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南岳学童

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
截面打eds不行嘛？

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28楼2016-12-29 23:50:32
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ljf2012

金虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
深度剖析，请查看站内消息

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29楼2017-01-06 10:44:55
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小小科学

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
XRF不可以做你要求的位置，是宏观测量

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30楼2017-01-06 22:54:56
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xiju111

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最好的办法就是用辉光光谱

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31楼2017-11-07 15:42:27
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niuchaonan2楼
2016-12-27 14:24   回复  
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dsctg3楼
2016-12-27 14:30   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
tzynew4楼
2016-12-27 14:44   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
xhmaohan5楼
2016-12-27 14:45   回复  
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xhmaohan6楼
2016-12-27 14:45   回复  
chuyp7楼
2016-12-27 14:47   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
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spssll9楼
2016-12-27 14:53   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
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黄玫瑰vip10楼
2016-12-27 15:02   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
zhchzhsh207611楼
2016-12-27 15:05   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
祝福宝。 发自小木虫Android客户端
阳雪儿12楼
2016-12-27 15:06   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
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像风一样消失14楼
2016-12-27 15:09   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
b 发自小木虫Android客户端
nono200915楼
2016-12-27 15:11   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
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aboluo19833116楼
2016-12-27 15:13   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
假大空19楼
2016-12-27 15:41   回复  
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顶
wtbccq50520楼
2016-12-27 16:20   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
超级老快22楼
2016-12-27 16:29   回复  
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tan91423楼
2016-12-27 19:12   回复  
niuchaonan(金币+1): 谢谢参与
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