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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后，铜种子层下面的二氧化硅不见了，这是怎么回事呢？
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ganyingyang

新虫 (初入文坛)

[求助] 三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后，铜种子层下面的二氧化硅不见了，这是怎么回事呢？ 已有1人参与

实验前
如图1，蓝色的是二氧化硅膜，紫红色的是二氧化硅膜上的铜种子层，二氧化硅不跟三氯化铁反应
三氯化铁溶液刻蚀之后
如图2    原来的的二氧化硅膜还在，但是铜被刻蚀掉之后，二氧化硅膜也不见了，白色的就是裸硅片，甚是奇怪，有哪位大神遇到类似的情况，求助啊

三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后，铜种子层下面的二氧化硅不见了，这是怎么回事呢？
1.jpg


三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后，铜种子层下面的二氧化硅不见了，这是怎么回事呢？-1
2.jpg
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1楼 2016-12-22 17:04:33
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szszalex

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

会不会是蚀刻液里面有氟离子的杂质？
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2楼2017-01-21 21:30:36
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