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三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后,铜种子层下面的二氧化硅不见了,这是怎么回事呢? 已有1人参与
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实验前 如图1,蓝色的是二氧化硅膜,紫红色的是二氧化硅膜上的铜种子层,二氧化硅不跟三氯化铁反应 三氯化铁溶液刻蚀之后 如图2 原来的的二氧化硅膜还在,但是铜被刻蚀掉之后,二氧化硅膜也不见了,白色的就是裸硅片,甚是奇怪,有哪位大神遇到类似的情况,求助啊 1.jpg 2.jpg |
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szszalex
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