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ganyingyang

新虫 (初入文坛)

[求助] 三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后,铜种子层下面的二氧化硅不见了,这是怎么回事呢? 已有1人参与

实验前
如图1,蓝色的是二氧化硅膜,紫红色的是二氧化硅膜上的铜种子层,二氧化硅不跟三氯化铁反应
三氯化铁溶液刻蚀之后
如图2    原来的的二氧化硅膜还在,但是铜被刻蚀掉之后,二氧化硅膜也不见了,白色的就是裸硅片,甚是奇怪,有哪位大神遇到类似的情况,求助啊

三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后,铜种子层下面的二氧化硅不见了,这是怎么回事呢?
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三氯化铁溶液刻蚀硅基板上的铜层后,铜种子层下面的二氧化硅不见了,这是怎么回事呢?-1
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szszalex

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

会不会是蚀刻液里面有氟离子的杂质?
2楼2017-01-21 21:30:36
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