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DOUBLEKILLMO

金虫 (小有名气)

[交流] N型氮化镓粗化

用KOH湿法蚀刻,led芯片出现漏电,严重的氮化镓层脱落
有没有大神有好方法?
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笨豆豆z

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
22楼: Originally posted by DOUBLEKILLMO at 2016-12-22 15:27:08
已经划过切道了...

划宽多少?我们做的话漏电问题在粗化这块没有问题,但在其他地方会出现,包括氮化镓大面积脱落也出现过。
23楼2016-12-22 16:04:01
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DOUBLEKILLMO(金币+1): 谢谢参与
2楼2016-12-22 13:48:00
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DOUBLEKILLMO(金币+1): 谢谢参与
3楼2016-12-22 13:49:07
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DOUBLEKILLMO(金币+1): 谢谢参与
4楼2016-12-22 13:51:38
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