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DOUBLEKILLMO

金虫 (小有名气)

[交流] N型氮化镓粗化

用KOH湿法蚀刻,led芯片出现漏电,严重的氮化镓层脱落
有没有大神有好方法?
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笨豆豆z

银虫 (初入文坛)


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1.粗化是晶圆整面粗化还是已经有划切道的存在了?
2.KOH腐蚀温度与时间?
3.漏电介于1ua-10ua与>10ua的比例多少?
12楼2016-12-22 13:59:50
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普通回帖

DOUBLEKILLMO(金币+1): 谢谢参与
2楼2016-12-22 13:48:00
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3楼2016-12-22 13:49:07
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4楼2016-12-22 13:51:38
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祝福
5楼2016-12-22 13:53:55
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6楼2016-12-22 13:54:29
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7楼2016-12-22 13:57:24
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8楼2016-12-22 13:58:02
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9楼2016-12-22 13:59:22
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10楼2016-12-22 13:59:47
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