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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 硅变为二氧化硅
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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)

[求助] 硅变为二氧化硅已有3人参与

亲们，我想请问一下:我的硅是500nm的，我想让其表面150nm的硅变为二氧化硅(就是还剩350nm)，能用什么方法，有相关文献吗？

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1楼2016-12-20 11:52:17
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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2016-12-20 15:48:53
放在空气中缓慢氧化，表面会会变成二氧化硅，但无法精确控制厚度。

高温加热呢

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4楼2016-12-20 16:27:08
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

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放在空气中缓慢氧化，表面会会变成二氧化硅，但无法精确控制厚度。
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青出于蓝而胜于蓝
2楼2016-12-20 15:48:53
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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)
高温加热呢？

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3楼2016-12-20 16:26:54
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
汤小米就是牛: 金币+2, ★有帮助 2017-03-22 21:04:58
高温加热虽然加速了氧化，但是问题同样在于无法准确控制厚度。有一些氧化动力学的东西可以参考，但是各个文献中的氧化设备等不一样，规律虽然一样但是绝对值可能会差别比较明显，只能参考。
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5楼2016-12-20 21:09:41
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