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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)

[求助] 硅变为二氧化硅 已有3人参与

亲们,我想请问一下:我的硅是500nm的,我想让其表面150nm的硅变为二氧化硅(就是还剩350nm),能用什么方法,有相关文献吗?

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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
放在空气中缓慢氧化,表面会会变成二氧化硅,但无法精确控制厚度。
青出于蓝而胜于蓝
2楼2016-12-20 15:48:53
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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)

3楼2016-12-20 16:26:54
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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2016-12-20 15:48:53
放在空气中缓慢氧化,表面会会变成二氧化硅,但无法精确控制厚度。

高温加热呢

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4楼2016-12-20 16:27:08
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
汤小米就是牛: 金币+2, ★有帮助 2017-03-22 21:04:58
高温加热虽然加速了氧化,但是问题同样在于无法准确控制厚度。有一些氧化动力学的东西可以参考,但是各个文献中的氧化设备等不一样,规律虽然一样但是绝对值可能会差别比较明显,只能参考。
5楼2016-12-20 21:09:41
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汤小米就是牛

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2016-12-20 15:48:53
放在空气中缓慢氧化,表面会会变成二氧化硅,但无法精确控制厚度。

好的,谢谢!还有我想请问一下:我的硅颗粒是500nm左右,我想包覆一层200nm的二氧化硅,用teos,乙醇,氨水的stober方法有可能能包覆上么?如果不能的话,用什么方法还可以降低硅颗粒的尺寸?

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6楼2016-12-20 23:07:46
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止水怀空

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

试试双氧水表面处理
7楼2017-03-22 11:32:06
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