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铁虫 (小有名气)

[交流] 靶材小了怎么办？急！已有1人参与

请教大家一个问题。我做的氧化钛圆形靶材，做射频磁控溅射用，标准靶材应该是直径50mm，高3mm才与靶枪配全，现在烧结的靶只有46mm，高3mm,怎么办？有什么方法还用这个50mm的靶枪啊？能否这个46的下面垫一个50mm，同样高3mm的钛靶啊？金币数量太少，个位数，以后有了一定发大家。

1楼2016-12-18 22:29:50

银虫 (知名作家)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

在阴极靶上固定靶材时一般会有一个靶材压环 d50和d46差不多应该能压住，实在不行重新做一个靶材压环

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2楼2016-12-19 07:20:36

铁虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-19 07:20:36
在阴极靶上固定靶材时一般会有一个靶材压环 d50和d46差不多应该能压住，实在不行重新做一个靶材压环

重新做一个压环，那么溅射时会把压环也溅射出来吧？

3楼2016-12-23 17:33:38

银虫 (知名作家)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

3楼: Originally posted by ly2829 at 2016-12-23 17:33:38
重新做一个压环，那么溅射时会把压环也溅射出来吧？...

有这种可能这要看溅射靶的具体结构了如果溅射区域离靶材压环较远就没有影响

发自小木虫Android客户端

4楼2016-12-23 20:30:54

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