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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 靶材小了怎么办？急！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ly2829

铁虫 (小有名气)

[交流] 靶材小了怎么办？急！ 已有1人参与

请教大家一个问题。我做的氧化钛圆形靶材，做射频磁控溅射用，标准靶材应该是直径50mm，高3mm才与靶枪配全，现在烧结的靶只有46mm，高3mm,怎么办？有什么方法还用这个50mm的靶枪啊？能否这个46的下面垫一个50mm，同样高3mm的钛靶啊？金币数量太少，个位数，以后有了一定发大家。
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1楼 2016-12-18 22:29:50
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by ly2829 at 2016-12-23 17:33:38
重新做一个压环，那么溅射时会把压环也溅射出来吧？...

有这种可能 这要看溅射靶的具体结构了 如果溅射区域离靶材压环较远 就没有影响

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4楼2016-12-23 20:30:54
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
在阴极靶上 固定靶材时一般会有一个靶材压环 d50和d46差不多 应该能压住 ，实在不行重新做一个靶材压环

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2楼2016-12-19 07:20:36
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ly2829

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-19 07:20:36
在阴极靶上 固定靶材时一般会有一个靶材压环 d50和d46差不多 应该能压住 ，实在不行重新做一个靶材压环

重新做一个压环，那么溅射时会把压环也溅射出来吧？
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3楼2016-12-23 17:33:38
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