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basanwuyu银虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】磷吸杂退火，铝吸杂不退火？
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磷吸杂一般都会涉及到在吸杂炉子中退火，而铝吸杂却没见退火？ 为什么？ 请指教！ [ Last edited by basanwuyu on 2008-12-9 at 21:09 ] |
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orchid8299
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orchid8299
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basanwuyu
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这个帖子是我去年发的，当时确实很多很多的都不懂，到现在：自己对课题知识相关了解稍微增多一点，理解稍微深一点了，我自己来回答当初提的这个问题： 不论铝吸杂、磷吸杂的先决条件：都是要在一定温度下进行热处理的，目的就是为了吸除掉硅片体内的金属杂质。（其实一定温度下，比如：可以进行恒温或变温吸杂，这里面的热处理就是退火呀！）另外：不知你问的是不是单独对片子进行退火？？？ 这就要看你用的是西门子法多晶硅的片子？还是铸造多晶硅片子？还是冶金法多晶硅片子？还是单晶硅片子？？具体而定，不知道你是做哪一方面的？ 我是做冶金法提纯多晶硅——然后退火，吸杂的，此处对于冶金法的多晶硅进行退火是很有必要的！ 友好交流，共同进步！ |
4楼2009-06-26 12:14:25
