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basanwuyu银虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】磷吸杂退火，铝吸杂不退火？
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磷吸杂一般都会涉及到在吸杂炉子中退火，而铝吸杂却没见退火？ 为什么？ 请指教！ [ Last edited by basanwuyu on 2008-12-9 at 21:09 ] |
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orchid8299
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我也想知道要不要退火？
3楼2009-06-25 20:55:54
2楼2008-12-10 14:43:37
basanwuyu
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这个帖子是我去年发的，当时确实很多很多的都不懂，到现在：自己对课题知识相关了解稍微增多一点，理解稍微深一点了，我自己来回答当初提的这个问题： 不论铝吸杂、磷吸杂的先决条件：都是要在一定温度下进行热处理的，目的就是为了吸除掉硅片体内的金属杂质。（其实一定温度下，比如：可以进行恒温或变温吸杂，这里面的热处理就是退火呀！）另外：不知你问的是不是单独对片子进行退火？？？ 这就要看你用的是西门子法多晶硅的片子？还是铸造多晶硅片子？还是冶金法多晶硅片子？还是单晶硅片子？？具体而定，不知道你是做哪一方面的？ 我是做冶金法提纯多晶硅——然后退火，吸杂的，此处对于冶金法的多晶硅进行退火是很有必要的！ 友好交流，共同进步！ |
4楼2009-06-26 12:14:25
orchid8299
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铝吸杂
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你好，我是做物理冶金法的片子，用铝吸杂来看看少子寿命有没有提高，若有提高的话，就做成电池，看看电池效率有没有提高。我的步骤如下： 1 清洗片子，2cm边长的正方形的170微米的多晶硅片， 测少子寿命和电阻率 2 蒸镀2.5微米的铝 3 退火，氮气气氛从600到1000度的温度，时间从0.5h到4h的四管微控扩散系统的炉子退火。我退火后片子是变黄色，不知道一般正确的颜色是哪种？而且又是有像气泡一样，表面疙疙瘩瘩的，凹凸不平。不知道怎么回事？ 4 去除合金层，这阶段我就去不掉合金层，我用HF和HNO3混合液，但是去不掉。我用砂纸，但片子很碎，很快就碎了。 5 测少子寿命，前后对比。 那是不是只有冶金法的多晶硅才可以做吸杂，而且有效果啊？ 我的师兄也是做过磷吸杂，不过就有一半片子有效的。 还有你测试少子寿命仪器的型号是什么啊？我们用的是老师自己设计的，我觉得不是很可靠。据说我们片子一般是1微秒的少子寿命呢。 你能不能具体些，我很想知道你是怎么做的，有效果吗？ |
5楼2009-06-26 16:36:57
