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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 买RIE时要考虑设备的哪些性能
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kissren

银虫 (初入文坛)

[求助] 买RIE时要考虑设备的哪些性能 已有1人参与

如题，最近实验室准备购置一台反应离子刻蚀机，需要关注设备的哪些性能，望大家多提些宝贵意见，谢谢。
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1楼 2016-12-14 11:10:39
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gzting2004

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

真空度
漏气率
抽速


电源稳定性
刻蚀均一性
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2017-03-24 15:19:36
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