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kissren

银虫 (初入文坛)

[求助] 买RIE时要考虑设备的哪些性能 已有1人参与

如题,最近实验室准备购置一台反应离子刻蚀机,需要关注设备的哪些性能,望大家多提些宝贵意见,谢谢。
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gzting2004

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

真空度
漏气率
抽速


电源稳定性
刻蚀均一性
2楼2017-03-24 15:19:36
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