| 查看: 1498 | 回复: 4 | ||
[求助]
Cr做掩膜，koh刻蚀硅片，求助做过的各位 已有1人参与
|
|
用Cr做掩蔽层，氢氧化钾加异丙醇刻蚀硅片（刻蚀200um），溅射镀的铬，在水浴80℃下，刻蚀一个小时铬，铬就碎了，铬破碎是什么原因？（我镀铬的时候，没有清洗，买回来直接就溅射镀膜机镀铬了） 还有，我想用koh溶液在硅片上刻蚀1cm x 1cm面积的窗口，深度达到200μm，硅片晶向<100>，理论上可能行吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有109人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
2楼2016-12-14 15:49:25
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2016-12-14 17:03:03
perry_ping 
新虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 16942.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 2963
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2016-12-16 08:23:00
5楼2019-03-14 21:20:20