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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » Cr做掩膜，koh刻蚀硅片，求助做过的各位
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SWD125

新虫 (初入文坛)

[求助] Cr做掩膜，koh刻蚀硅片，求助做过的各位 已有1人参与

用Cr做掩蔽层，氢氧化钾加异丙醇刻蚀硅片（刻蚀200um），溅射镀的铬，在水浴80℃下，刻蚀一个小时铬，铬就碎了，铬破碎是什么原因？（我镀铬的时候，没有清洗，买回来直接就溅射镀膜机镀铬了）
还有，我想用koh溶液在硅片上刻蚀1cm x 1cm面积的窗口，深度达到200μm，硅片晶向<100>，理论上可能行吗？
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1楼 2016-12-14 09:35:11
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
可行

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2楼2016-12-14 15:49:25
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议要洗一下，镀出来的膜最好退火处理一下比较好
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3楼2016-12-14 17:03:03
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perry_ping

新虫 (职业作家)
可以

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4楼2016-12-16 08:23:00
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997855935

新虫 (初入文坛)
楼主请问你镀铬的工艺参数怎么确定的？以及铬破碎的问题如何解决的？
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5楼2019-03-14 21:20:20
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