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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » XeF2刻蚀Si工艺
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

[交流] XeF2刻蚀Si工艺

有没有接触过XeF2刻蚀Si的虫友，交流交流。

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学海无涯，回头是岸。
1楼 2016-12-11 21:34:24
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
czcdxmc: 金币+10 2016-12-15 18:56:29
听说这个东西刻起来好快好快，而且还没有什么碳残留
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

czcdxmc
哈哈哈哈，来吧
2楼2016-12-13 00:35:16
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by jeremyfrc at 2016-12-13 00:35:16
听说这个东西刻起来好快好快，而且还没有什么碳残留

各向同性刻蚀，与Si的副产物会腐蚀SiO、SiN。这方面的工艺很少。
赞一下 回复此楼
学海无涯，回头是岸。
3楼2016-12-15 18:56:20
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