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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

[交流] XeF2刻蚀Si工艺

有没有接触过XeF2刻蚀Si的虫友,交流交流。

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学海无涯,回头是岸。
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
czcdxmc: 金币+10 2016-12-15 18:56:29
听说这个东西刻起来好快好快,而且还没有什么碳残留

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

哈哈哈哈,来吧
2楼2016-12-13 00:35:16
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by jeremyfrc at 2016-12-13 00:35:16
听说这个东西刻起来好快好快,而且还没有什么碳残留

各向同性刻蚀,与Si的副产物会腐蚀SiO、SiN。这方面的工艺很少。
学海无涯,回头是岸。
3楼2016-12-15 18:56:20
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