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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 金刚石种子
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蒲公英hehe

铜虫 (初入文坛)

[求助] 金刚石种子 已有1人参与

用微波等离子气相沉积制备金刚石薄膜的时候，硅片基体上的薄膜总是不均匀或者没有，是因为金刚石种子不均匀或者没有，还是别的因素？

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1楼 2016-12-09 18:09:30
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Q89285139

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是用硅片做基体的，可能的问题硅片表面没处理好。也有可能是温度没控制好。或是生长方面的问题。
你说的太笼统了，不太好具体判断。
另外你也可以试下用MPCVD的单晶金刚石做种子或是用HPHT的单晶金刚石做种子试下薄膜的效果。
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2楼2016-12-10 09:03:05
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
考虑几个因素

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低调做人，低调做事，做对的事儿
3楼2016-12-12 20:49:47
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
1. 设备，等离子体是否均匀：2. 基片预处理是否一致。多半是1的问题

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低调做人，低调做事，做对的事儿
4楼2016-12-12 20:51:06
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蒲公英hehe

铜虫 (初入文坛)
种金刚石种子方法：首先是清洗硅片基体，硅片丙酮超声3min，酒精超声3min，水超声3min，然后是在金刚石种子溶液中超声30min，之后再在水中超声3min，有时同时做两个样品，一个可以长出来，一个就什么都没有，设备在长碳化硅薄膜时可以长出来，检查甲烷气体没有问题，尝试好多次了，只是偶尔能做出来一个，而且只是最近出的问题，快崩溃了
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5楼2016-12-16 15:06:52
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
引用回帖:
5楼: Originally posted by 蒲公英hehe at 2016-12-16 15:06:52
种金刚石种子方法：首先是清洗硅片基体，硅片丙酮超声3min，酒精超声3min，水超声3min，然后是在金刚石种子溶液中超声30min，之后再在水中超声3min，有时同时做两个样品，一个可以长出来，一个就什么都没有，设备在 ...

可以划一下试试

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低调做人，低调做事，做对的事儿
6楼2016-12-21 10:49:46
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