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5205366

铜虫 (正式写手)

[求助] 请问磁控溅射样品表面一定要抛光吗? 已有1人参与

如果表面不抛光就不能成膜吗?谢谢!
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5205366

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chshch472 at 2016-12-06 11:01:58
表面状态会影响表面电磁场分布吧。不抛光的话电磁场不均匀,膜也不均匀。

多溅射两个小时也不行吗?
3楼2016-12-06 12:50:25
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chshch472

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
表面状态会影响表面电磁场分布吧。不抛光的话电磁场不均匀,膜也不均匀。
2楼2016-12-06 11:01:58
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highpurity

新虫 (小有名气)

你买靶材的时候肯定是抛光过的啊!

发自小木虫Android客户端
4楼2016-12-06 13:50:27
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chshch472

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 5205366 at 2016-12-06 12:50:25
多溅射两个小时也不行吗?...

从结果的可控性与效率来看,抛光貌似要好一点。
你也可以用实验来测试下。
5楼2016-12-06 16:33:57
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