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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 请问磁控溅射样品表面一定要抛光吗？
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5205366

铜虫 (正式写手)

[求助] 请问磁控溅射样品表面一定要抛光吗？ 已有1人参与

如果表面不抛光就不能成膜吗？谢谢！
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1楼 2016-12-06 08:52:27
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chshch472

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
表面状态会影响表面电磁场分布吧。不抛光的话电磁场不均匀，膜也不均匀。
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2楼2016-12-06 11:01:58
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5205366

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chshch472 at 2016-12-06 11:01:58
表面状态会影响表面电磁场分布吧。不抛光的话电磁场不均匀，膜也不均匀。

多溅射两个小时也不行吗？
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3楼2016-12-06 12:50:25
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highpurity

新虫 (小有名气)
你买靶材的时候肯定是抛光过的啊！

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4楼2016-12-06 13:50:27
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chshch472

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 5205366 at 2016-12-06 12:50:25
多溅射两个小时也不行吗？...

从结果的可控性与效率来看，抛光貌似要好一点。
你也可以用实验来测试下。
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5楼2016-12-06 16:33:57
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Friend007

银虫 (知名作家)
楼主说的是样品表面是否要抛光，肯定要。如果不抛光，太粗糙，沉积的膜很可能不连续啊。

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6楼2016-12-07 07:10:00
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chshch472

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-07 07:10:00
楼主说的是样品表面是否要抛光，肯定要。如果不抛光，太粗糙，沉积的膜很可能不连续啊。

他想用长时间的溅射来磨平表面，
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7楼2016-12-07 16:24:52
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