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nanate

金虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】光电池薄膜材料

请问各位用PECVD做光电池薄膜材料的原料是什么？现在不是硅烷比较贵吗，有没有什么替代材料？

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-6 at 20:44 ]
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1楼 2008-12-05 13:58:05
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流
没有，都是SiN，这有很多原因，比如：容易制备、钝化效果等。
有公司用TiO2的，但是必须解决钝化不足问题，故此用TiO2的都用TiO2/SiO2双层膜，这样siO的高温氧化生成成本也比较高。所以还是SiN薄膜。

如果你问的是多晶硅薄膜的话，那么确实有其他体系的光电薄膜，比如碲化镉、铜铟硒等等。
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2楼2008-12-05 14:14:35
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nanate

金虫 (小有名气)
不好意思，可能是我没有说清楚。
我想和大家讨论一下制备多晶硅材料的原料，具体说就是用CVD或PECVD方法制备中，现在比较常用的是采用硅烷，但是硅烷比较硅，而且还在涨价。能不能用其他含硅物质替代？
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3楼2008-12-05 16:06:44
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
你个好注意，好像气象沉积都是这个方法，就是用含元素的H化物，然后吧H搞出来吧。

不过如果有方法代替硅烷会更好，只是不知道那种物质会不会比硅烷更贵？
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4楼2008-12-05 16:45:44
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wzyong123

木虫 (正式写手)
★
ddx-k(金币+1,VIP+0):多谢你的信息，请多关注物理版电池材料区。
呵呵，一看就知道没有理解楼主的意思啊。PECVD的原料主要是硅烷和氢气。现在硅烷是很贵，但替代品不多，氟化硅可以代替，但更贵了。
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5楼2008-12-06 17:03:47
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nanate

金虫 (小有名气)
★
ddx-k(金币+1,VIP+0):谢谢你的积极探讨
就是啊！现在大家都在做这个硅材料。但是只用硅烷的话，使它的价格张了不少，最近是涨了25%左右。但是氟化硅也是不行的，会对设备腐蚀。还有没有其他的原料，大家可以讨论讨论。
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6楼2008-12-07 17:00:38
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ruoshui789

金虫 (正式写手)
文献里大部分都是用的硅烷啊，没看见其他的工艺气体啊，卤素硅也可以分解生成硅，那是用来做多晶硅薄膜的
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7楼2008-12-09 09:49:37
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