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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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nanate

金虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】光电池薄膜材料

请问各位用PECVD做光电池薄膜材料的原料是什么?现在不是硅烷比较贵吗,有没有什么替代材料?

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-6 at 20:44 ]
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nanate

金虫 (小有名气)


ddx-k(金币+1,VIP+0):谢谢你的积极探讨
就是啊!现在大家都在做这个硅材料。但是只用硅烷的话,使它的价格张了不少,最近是涨了25%左右。但是氟化硅也是不行的,会对设备腐蚀。还有没有其他的原料,大家可以讨论讨论。
6楼2008-12-07 17:00:38
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流
没有,都是SiN,这有很多原因,比如:容易制备、钝化效果等。
有公司用TiO2的,但是必须解决钝化不足问题,故此用TiO2的都用TiO2/SiO2双层膜,这样siO的高温氧化生成成本也比较高。所以还是SiN薄膜。

如果你问的是多晶硅薄膜的话,那么确实有其他体系的光电薄膜,比如碲化镉、铜铟硒等等。
2楼2008-12-05 14:14:35
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nanate

金虫 (小有名气)

不好意思,可能是我没有说清楚。
我想和大家讨论一下制备多晶硅材料的原料,具体说就是用CVD或PECVD方法制备中,现在比较常用的是采用硅烷,但是硅烷比较硅,而且还在涨价。能不能用其他含硅物质替代?
3楼2008-12-05 16:06:44
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

你个好注意,好像气象沉积都是这个方法,就是用含元素的H化物,然后吧H搞出来吧。

不过如果有方法代替硅烷会更好,只是不知道那种物质会不会比硅烷更贵?
4楼2008-12-05 16:45:44
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