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674686867

新虫 (初入文坛)

[求助] 超高真空方面问题求教 已有4人参与

请问超高真空10的负7次方Pa量级获取方法,需要哪些泵?

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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般情况下,需要分子泵(国产)+离子泵或者多级分子泵(进口的)。如果要求更高,还可以有吸气剂泵

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3楼2016-12-02 07:10:31
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fullons

捐助贵宾 (正式写手)

耐得住孤独,是成功必要条件。
2楼2016-12-01 23:29:51
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

机械泵加分子泵到10的负7次方。然后开离子泵,关机机械泵和分子泵可抽至10的负7次方以上。

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没有困难创造困难也要上网。
4楼2016-12-02 07:37:42
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

更正:机械泵加分子泵可抽至10的负5次方。

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没有困难创造困难也要上网。
5楼2016-12-02 07:39:13
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674686867

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-02 07:10:31
一般情况下,需要分子泵(国产)+离子泵或者多级分子泵(进口的)。如果要求更高,还可以有吸气剂泵

你好,实验室目前有分子泵,德国普发的涡轮分子泵,师兄说目前能抽到负5次,如果把接口换成金属密封,能否达到负7次?腔体不是太大。

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6楼2016-12-03 02:05:41
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674686867

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-02 07:10:31
一般情况下,需要分子泵(国产)+离子泵或者多级分子泵(进口的)。如果要求更高,还可以有吸气剂泵

你好,我们实验室现有的是分子泵和机械泵,分子泵是德国普发的涡轮分子泵,抽速是260,现在是橡胶密封的能到负5次,如果改成金属密封能不能达到负7次?

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7楼2016-12-03 02:09:43
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674686867

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by qfw_68 at 2016-12-02 07:37:42
机械泵加分子泵到10的负7次方。然后开离子泵,关机机械泵和分子泵可抽至10的负7次方以上。

实验室目前有机械泵和分子泵,分子泵是德国普法涡轮分子泵,抽速260,橡胶密封,师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次?

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8楼2016-12-03 02:12:49
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674686867

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-02 07:10:31
一般情况下,需要分子泵(国产)+离子泵或者多级分子泵(进口的)。如果要求更高,还可以有吸气剂泵

实验室目前有机械泵和分子泵,分子泵是德国普法涡轮分子泵,抽速260,橡胶密封,师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次?

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9楼2016-12-03 02:15:33
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
9楼: Originally posted by 674686867 at 2016-12-03 02:15:33
实验室目前有机械泵和分子泵,分子泵是德国普法涡轮分子泵,抽速260,橡胶密封,师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次?
...

1.直观感觉,分子泵抽速260有点小。达到10e_7pa有点困难。2.真空室尺寸多少?

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10楼2016-12-03 03:25:09
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