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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 核物理 » 超高真空方面问题求教
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674686867

新虫 (初入文坛)

[求助] 超高真空方面问题求教 已有4人参与

请问超高真空10的负7次方Pa量级获取方法，需要哪些泵？

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1楼 2016-12-01 15:39:01
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般情况下，需要分子泵（国产）+离子泵或者多级分子泵（进口的）。如果要求更高，还可以有吸气剂泵

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3楼2016-12-02 07:10:31
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fullons

捐助贵宾 (正式写手)
机械泵加分子泵

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耐得住孤独，是成功必要条件。
2楼2016-12-01 23:29:51
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
机械泵加分子泵到10的负7次方。然后开离子泵，关机机械泵和分子泵可抽至10的负7次方以上。

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没有困难创造困难也要上网。
4楼2016-12-02 07:37:42
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
更正：机械泵加分子泵可抽至10的负5次方。

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没有困难创造困难也要上网。
5楼2016-12-02 07:39:13
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674686867

新虫 (初入文坛)
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3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-02 07:10:31
一般情况下，需要分子泵（国产）+离子泵或者多级分子泵（进口的）。如果要求更高，还可以有吸气剂泵

你好，实验室目前有分子泵，德国普发的涡轮分子泵，师兄说目前能抽到负5次，如果把接口换成金属密封，能否达到负7次？腔体不是太大。

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6楼2016-12-03 02:05:41
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674686867

新虫 (初入文坛)
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3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-02 07:10:31
一般情况下，需要分子泵（国产）+离子泵或者多级分子泵（进口的）。如果要求更高，还可以有吸气剂泵

你好，我们实验室现有的是分子泵和机械泵，分子泵是德国普发的涡轮分子泵，抽速是260，现在是橡胶密封的能到负5次，如果改成金属密封能不能达到负7次？

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7楼2016-12-03 02:09:43
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674686867

新虫 (初入文坛)
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4楼: Originally posted by qfw_68 at 2016-12-02 07:37:42
机械泵加分子泵到10的负7次方。然后开离子泵，关机机械泵和分子泵可抽至10的负7次方以上。

实验室目前有机械泵和分子泵，分子泵是德国普法涡轮分子泵，抽速260，橡胶密封，师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次？

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8楼2016-12-03 02:12:49
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674686867

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-02 07:10:31
一般情况下，需要分子泵（国产）+离子泵或者多级分子泵（进口的）。如果要求更高，还可以有吸气剂泵

实验室目前有机械泵和分子泵，分子泵是德国普法涡轮分子泵，抽速260，橡胶密封，师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次？

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9楼2016-12-03 02:15:33
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Friend007

银虫 (知名作家)
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9楼: Originally posted by 674686867 at 2016-12-03 02:15:33
实验室目前有机械泵和分子泵，分子泵是德国普法涡轮分子泵，抽速260，橡胶密封，师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次？
...

1.直观感觉，分子泵抽速260有点小。达到10e_7pa有点困难。2.真空室尺寸多少？

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10楼2016-12-03 03:25:09
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