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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
8楼: Originally posted by 674686867 at 2016-12-03 02:12:49
实验室目前有机械泵和分子泵，分子泵是德国普法涡轮分子泵，抽速260，橡胶密封，师兄让我调研下如果改成金属密封的能不能到负7次？
...

单分子泵那是不可能的。我们的设备是加了离子泵。请相信我。

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没有困难创造困难也要上网。
11楼2016-12-03 05:09:16
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flashxu0119

至尊木虫 (著名写手)
分子泵自己不加负载，烘烤可以到。换成CF有难度。基本不靠谱，本身泵抽速就小。

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12楼2016-12-03 07:19:02
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674686867

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by qfw_68 at 2016-12-03 05:09:16
单分子泵那是不可能的。我们的设备是加了离子泵。请相信我。
...

额，看来还是得加离子泵，我打电话去销售厂家那边问，她们说金属密封分子泵可以到的，难道被忽悠了？

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13楼2016-12-03 14:15:57
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674686867

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-03 03:25:09
1.直观感觉，分子泵抽速260有点小。达到10e_7pa有点困难。2.真空室尺寸多少？
...

腔体不大，10升左右

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14楼2016-12-03 14:20:55
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 674686867 at 2016-12-03 14:20:55
腔体不大，10升左右
...

改成金属密封进-7pa应该可以 。需要注意一些细节，真空管道和腔室内表面处理的要干净，并真空炉内除气。进口分子泵要双级串联。

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15楼2016-12-03 15:19:21
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674686867

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by Friend007 at 2016-12-03 15:19:21
改成金属密封进-7pa应该可以 。需要注意一些细节，真空管道和腔室内表面处理的要干净，并真空炉内除气。进口分子泵要双级串联。
...

好，万分感谢。

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16楼2016-12-03 16:32:45
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xqzhang56

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

前级泵为机械泵分子泵 然后采用吸气剂泵肯定能行，还可以选择升华泵，阿普徕德。
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17楼2017-11-25 21:42:52
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

我觉得机械泵+分子泵达到10-7次应该是可以的，跟你的腔体和泵功率有关。
当然不能用橡胶密封，还必须150度烘烤
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语言是窗户或墙
18楼2017-11-26 21:10:42
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xiaoyuehit

铜虫 (小有名气)
这个不仅仅是泵的问题，首先需要机械泵粗抽，分子泵，离子泵，金属密封，如果不用无氧铜的话，可以用保险丝当密封圈，另外如果当初不是按照超高真空设计的舱的话由于材料表面处理工艺不达标，也很难达到10-7pa

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19楼2019-05-17 20:14:37
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xiaoyuehit

铜虫 (小有名气)
另外烘烤除气必不可少

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20楼2019-05-17 20:15:02
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