24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2417  |  回复: 6

xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助各位大神,有没有什么方法可以测离子注入退火后的离子激活浓度 已有1人参与

求助各位大神,有没有什么设备或者方法可以对离子注入后进行过退火的片子进行离子激活浓度的测试?片子是整片进行的离子注入,所以没办法进行器件的制作再测试了,麻烦各位大神能给出一些建议。小妹在此感激不尽~~
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
二次离子质谱,SIMS,暴贵的机时费。
2楼2016-11-29 11:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-29 11:24:43
二次离子质谱,SIMS,暴贵的机时费。

因为注入后可能不是完全激活,所以我是想看一下激活后的浓度,就是激活了多少,不不是看注入浓度,所以SIMS应该只能测出注入浓度吧,测的应该不是激活浓度吧。
3楼2016-12-01 14:00:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2016-12-01 14:00:11
因为注入后可能不是完全激活,所以我是想看一下激活后的浓度,就是激活了多少,不不是看注入浓度,所以SIMS应该只能测出注入浓度吧,测的应该不是激活浓度吧。...

sorry,没看仔细。
你需要用霍尔测试来测载流子浓度,还是要在表面做欧姆接触的电极。然后再除以SIMS的结果,就是激活率了。
你既然是整片注入的,那么注入后在表面做电极就好了,还是比较容易做的。
4楼2016-12-01 14:37:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengkeji

新虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2016-12-01 14:00:11
因为注入后可能不是完全激活,所以我是想看一下激活后的浓度,就是激活了多少,不不是看注入浓度,所以SIMS应该只能测出注入浓度吧,测的应该不是激活浓度吧。...

你好,你知道哪里可以做硅片的离子注入吗
5楼2016-12-09 16:35:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengkeji

新虫 (知名作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-12-01 14:37:17
sorry,没看仔细。
你需要用霍尔测试来测载流子浓度,还是要在表面做欧姆接触的电极。然后再除以SIMS的结果,就是激活率了。
你既然是整片注入的,那么注入后在表面做电极就好了,还是比较容易做的。...

你好,我是一名研究生,你知道在哪里可以做硅片的离子注入吗?
6楼2016-12-09 16:36:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by chengkeji at 2016-12-09 16:36:02
你好,我是一名研究生,你知道在哪里可以做硅片的离子注入吗?...

很多地方都可以,中科院半导体所,中科院微电子所,北京师范大学,都可以做
7楼2017-02-17 15:48:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiaohuamao1 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿南航 335分 | 0856 | GPA 4.07 | 有科研经历 +8 cccchenso 2026-03-29 8/400 2026-03-29 23:53 by 我是小康
[考研] 307求调剂 +9 超级伊昂大王 2026-03-24 10/500 2026-03-29 20:26 by 永字号
[考研] 291求调剂 +7 Y-cap 2026-03-29 8/400 2026-03-29 19:53 by klasasda
[考研] 求调剂 +4 青春裁为三截 2026-03-29 4/200 2026-03-29 15:01 by 唐沐儿
[考研] 2026年华南师范大学欢迎化学,化工,生物,生医工等专业优秀学子加入! +3 llss0711 2026-03-28 6/300 2026-03-29 10:26 by llss0711
[考研] 一志愿太原理工安全工程300分,求调剂 +5 0857求调剂. 2026-03-24 6/300 2026-03-28 22:04 by zhq0425
[考研] 295材料工程专硕求调剂 +7 1428151015 2026-03-27 7/350 2026-03-28 19:58 by S240
[考研] 085602 化工专硕 338分 求调剂 +12 路痴小琪 2026-03-27 12/600 2026-03-28 15:41 by L135790
[考研] 347求调剂 +3 山顶见α 2026-03-25 3/150 2026-03-28 14:13 by 唐沐儿
[考研] 286求调剂 +4 丢掉懒惰 2026-03-27 7/350 2026-03-28 08:07 by baoball
[考研] 308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-27 7/350 2026-03-28 07:43 by 热情沙漠
[考研] 0703化学求调剂,各位老师看看我!!! +5 祁祺祺 2026-03-25 5/250 2026-03-27 21:44 by 东方猪猪
[考研] 考研调剂 +9 小蜡新笔 2026-03-26 9/450 2026-03-27 11:10 by 不吃魚的貓
[考研] 304材料求调剂 +4 钟llll 2026-03-26 4/200 2026-03-27 03:42 by wxiongid
[考研] 351求调剂 +4 麦克阿磊 2026-03-24 4/200 2026-03-27 00:32 by wxiongid
[考研] 材料考研求调剂 +3 Dendel 2026-03-23 6/300 2026-03-26 17:51 by fmesaito
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +4 钢铁大炮 2026-03-24 4/200 2026-03-26 16:28 by dick_runner
[考研] 347求调剂 +4 L when 2026-03-25 4/200 2026-03-25 13:37 by cocolv
[考研] 282求调剂 +3 wcq131415 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:16 by userper
[考研] 0854电子信息求调剂 324 +4 Promise-jyl 2026-03-23 4/200 2026-03-25 11:36 by Sugarlight
信息提示
请填处理意见