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求助各位大神，有没有什么方法可以测离子注入退火后的离子激活浓度 已有1人参与
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求助各位大神，有没有什么设备或者方法可以对离子注入后进行过退火的片子进行离子激活浓度的测试?片子是整片进行的离子注入，所以没办法进行器件的制作再测试了，麻烦各位大神能给出一些建议。小妹在此感激不尽~~ |
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yswyx 
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