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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 求助各位大神，有没有什么方法可以测离子注入退火后的离子激活浓度
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助各位大神，有没有什么方法可以测离子注入退火后的离子激活浓度 已有1人参与

求助各位大神，有没有什么设备或者方法可以对离子注入后进行过退火的片子进行离子激活浓度的测试?片子是整片进行的离子注入，所以没办法进行器件的制作再测试了，麻烦各位大神能给出一些建议。小妹在此感激不尽~~
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1楼 2016-11-29 10:52:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
二次离子质谱，SIMS，暴贵的机时费。
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2楼2016-11-29 11:24:43
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-29 11:24:43
二次离子质谱，SIMS，暴贵的机时费。

因为注入后可能不是完全激活，所以我是想看一下激活后的浓度，就是激活了多少，不不是看注入浓度，所以SIMS应该只能测出注入浓度吧，测的应该不是激活浓度吧。
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3楼2016-12-01 14:00:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2016-12-01 14:00:11
因为注入后可能不是完全激活，所以我是想看一下激活后的浓度，就是激活了多少，不不是看注入浓度，所以SIMS应该只能测出注入浓度吧，测的应该不是激活浓度吧。...

sorry，没看仔细。
你需要用霍尔测试来测载流子浓度，还是要在表面做欧姆接触的电极。然后再除以SIMS的结果，就是激活率了。
你既然是整片注入的，那么注入后在表面做电极就好了，还是比较容易做的。
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4楼2016-12-01 14:37:17
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chengkeji

新虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2016-12-01 14:00:11
因为注入后可能不是完全激活，所以我是想看一下激活后的浓度，就是激活了多少，不不是看注入浓度，所以SIMS应该只能测出注入浓度吧，测的应该不是激活浓度吧。...

你好，你知道哪里可以做硅片的离子注入吗
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5楼2016-12-09 16:35:14
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chengkeji

新虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-12-01 14:37:17
sorry，没看仔细。
你需要用霍尔测试来测载流子浓度，还是要在表面做欧姆接触的电极。然后再除以SIMS的结果，就是激活率了。
你既然是整片注入的，那么注入后在表面做电极就好了，还是比较容易做的。...

你好，我是一名研究生，你知道在哪里可以做硅片的离子注入吗？
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6楼2016-12-09 16:36:02
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by chengkeji at 2016-12-09 16:36:02
你好，我是一名研究生，你知道在哪里可以做硅片的离子注入吗？...

很多地方都可以，中科院半导体所，中科院微电子所，北京师范大学，都可以做
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7楼2017-02-17 15:48:31
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