应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 求助各位大神，有没有什么方法可以测离子注入退火后的离子激活浓度
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
71/1返回列表
查看: 2407  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助各位大神，有没有什么方法可以测离子注入退火后的离子激活浓度 已有1人参与

求助各位大神，有没有什么设备或者方法可以对离子注入后进行过退火的片子进行离子激活浓度的测试?片子是整片进行的离子注入，所以没办法进行器件的制作再测试了，麻烦各位大神能给出一些建议。小妹在此感激不尽~~
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-11-29 10:52:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
二次离子质谱，SIMS，暴贵的机时费。
赞一下 回复此楼
2楼2016-11-29 11:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-29 11:24:43
二次离子质谱，SIMS，暴贵的机时费。

因为注入后可能不是完全激活，所以我是想看一下激活后的浓度，就是激活了多少，不不是看注入浓度，所以SIMS应该只能测出注入浓度吧，测的应该不是激活浓度吧。
赞一下 回复此楼
3楼2016-12-01 14:00:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2016-12-01 14:00:11
因为注入后可能不是完全激活，所以我是想看一下激活后的浓度，就是激活了多少，不不是看注入浓度，所以SIMS应该只能测出注入浓度吧，测的应该不是激活浓度吧。...

sorry，没看仔细。
你需要用霍尔测试来测载流子浓度，还是要在表面做欧姆接触的电极。然后再除以SIMS的结果，就是激活率了。
你既然是整片注入的，那么注入后在表面做电极就好了，还是比较容易做的。
赞一下 回复此楼
4楼2016-12-01 14:37:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengkeji

新虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2016-12-01 14:00:11
因为注入后可能不是完全激活，所以我是想看一下激活后的浓度，就是激活了多少，不不是看注入浓度，所以SIMS应该只能测出注入浓度吧，测的应该不是激活浓度吧。...

你好，你知道哪里可以做硅片的离子注入吗
赞一下 回复此楼
5楼2016-12-09 16:35:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengkeji

新虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-12-01 14:37:17
sorry，没看仔细。
你需要用霍尔测试来测载流子浓度，还是要在表面做欧姆接触的电极。然后再除以SIMS的结果，就是激活率了。
你既然是整片注入的，那么注入后在表面做电极就好了，还是比较容易做的。...

你好，我是一名研究生，你知道在哪里可以做硅片的离子注入吗？
赞一下 回复此楼
6楼2016-12-09 16:36:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by chengkeji at 2016-12-09 16:36:02
你好，我是一名研究生，你知道在哪里可以做硅片的离子注入吗？...

很多地方都可以，中科院半导体所，中科院微电子所，北京师范大学，都可以做
赞一下 回复此楼
7楼2017-02-17 15:48:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiaohuamao1 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211院校 344分 东北农业大学生物学学硕，求调剂 +4 丶风雪夜归人丶 2026-03-26 5/250 2026-03-27 09:43 by 丶风雪夜归人丶
[考研] 0856材料化工调剂 总分330 +4 zhubinhao 2026-03-27 4/200 2026-03-27 09:38 by caszguilin
[考研] 南昌大学材料专硕311分求调剂 +9 77chaselx 2026-03-20 9/450 2026-03-27 09:00 by 3Strings
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-26 3/150 2026-03-27 07:58 by chemisry
[考研] 351求调剂 +4 麦克阿磊 2026-03-24 4/200 2026-03-27 00:32 by wxiongid
[考研] 286求调剂 +5 PolarBear11 2026-03-26 5/250 2026-03-26 23:59 by 运气yunqi
[考研] 085701环境工程，267求调剂 +4 minht 2026-03-26 4/200 2026-03-26 20:14 by barlinike
[考研] 化学工程085602 305分求调剂 +17 RichLi_ 2026-03-25 17/850 2026-03-26 19:44 by plmuchong
[考研] 0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可 +7 丹青奶盖 2026-03-26 7/350 2026-03-26 19:18 by macy2011
[考研] 303求调剂 +6 蓝山月 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:47 by 418490947
[考研] 26考研-291分-厦门大学（085601）-柔性电子学院材料工程专业求调剂 +3 min3 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:22 by xcjcqu
[考研] 生物学学硕求调剂 +7 小羊睡着了? 2026-03-23 10/500 2026-03-25 02:24 by 清风拂扬。 m
[考研] 300求调剂，材料科学英一数二 +5 leaflight 2026-03-24 5/250 2026-03-24 16:25 by laoshidan
[考研] 求调剂一志愿武汉理工大学材料工程（085601） +5 WW.' 2026-03-23 7/350 2026-03-24 14:50 by sprinining
[考博] 26申博自荐 +3 whh869393 2026-03-24 3/150 2026-03-24 09:55 by 21018060
[基金申请] 请教下大家 2026年国家基金申请是双盲审吗？ +3 lishucheng1 2026-03-22 5/250 2026-03-24 08:22 by gltch
[考研] 291求调剂 +5 孅華 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:20 by haoshis
[考研] 一志愿东华大学化学070300，求调剂 +7 2117205181 2026-03-21 8/400 2026-03-22 22:55 by chixmc
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 求调剂 +3 @taotao 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:35 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭