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胡峰楠123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 咨询TiN靶材磁控溅射条件

想磁控溅射TiN靶材生长100nmTiN薄膜,求大神告知合适的溅射条件和溅射时间
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尽可能多想多做
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欧姆007

金虫 (小有名气)

额额 这点没咋注意 的确是反应溅射多一点

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-11-27 22:42:40
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欧姆007

金虫 (小有名气)

2楼2016-11-26 23:13:57
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胡峰楠123

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 欧姆007 at 2016-11-26 23:13:57
文献上有很多,知网。

知网上找的都是Ti靶在N2和Ar氛围下的溅射,没找到直接用TiN靶溅射的
尽可能多想多做
3楼2016-11-27 19:05:54
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