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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 咨询TiN靶材磁控溅射条件
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胡峰楠123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 咨询TiN靶材磁控溅射条件

想磁控溅射TiN靶材生长100nmTiN薄膜，求大神告知合适的溅射条件和溅射时间
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尽可能多想多做
1楼 2016-11-25 10:11:29
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欧姆007

金虫 (小有名气)
文献上有很多，知网。

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2楼2016-11-26 23:13:57
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胡峰楠123

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 欧姆007 at 2016-11-26 23:13:57
文献上有很多，知网。

知网上找的都是Ti靶在N2和Ar氛围下的溅射，没找到直接用TiN靶溅射的
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尽可能多想多做
3楼2016-11-27 19:05:54
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欧姆007

金虫 (小有名气)
额额 这点没咋注意 的确是反应溅射多一点

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4楼2016-11-27 22:42:40
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