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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射的电离真空计显示不正常？是坏了么？需要换什么零件？
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沉默的雨水

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射的电离真空计显示不正常？是坏了么？需要换什么零件？ 已有1人参与

估计是通氩气前没有关闭电离真空计。

磁控溅射的电离真空计显示不正常？是坏了么？需要换什么零件？


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1楼 2016-11-19 11:42:46
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
沉默的雨水: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-11-27 08:19:26
就把那个电离的那个玻璃筒筒换了就应该可以了
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
2楼2016-11-19 14:53:11
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
沉默的雨水: 金币+2, ★有帮助 2016-11-27 08:20:04
沉默的雨水: 金币+3, ★有帮助 2016-11-27 08:20:29
这个我们的真空计生产过程中是一直开着的，也没说通氩气要关，也没事呀。你们这个是不是实验设备，氩气量太大哟。我们这里氩气流量130-150sccm
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
3楼2016-11-19 14:55:23
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windsuk2011

金虫 (小有名气)
检查一下电离规（玻璃管）的接线是否松了

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4楼2016-11-19 14:58:55
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沉默的雨水

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hs_77 at 2016-11-19 14:53:11
就把那个电离的那个玻璃筒筒换了就应该可以了

直接买了个新的，正在寄送。

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5楼2016-11-22 09:46:13
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沉默的雨水

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hs_77 at 2016-11-19 14:55:23
这个我们的真空计生产过程中是一直开着的，也没说通氩气要关，也没事呀。你们这个是不是实验设备，氩气量太大哟。我们这里氩气流量130-150sccm

对，确实是实验设备。培训时说必须要关掉。

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6楼2016-11-22 09:47:38
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沉默的雨水

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by windsuk2011 at 2016-11-19 14:58:55
检查一下电离规（玻璃管）的接线是否松了

买了个新的。

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7楼2016-11-22 09:47:53
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hs_77

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 沉默的雨水 at 2016-11-22 09:47:38
对，确实是实验设备。培训时说必须要关掉。
...

那这个你们的生产工艺有问题哟，要检讨氩气流量，另要检讨氩气的入口与真空检测的位置关系；不可能氩气一通就一下烧了的。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
8楼2016-11-22 13:56:47
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