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学无止境YAO

银虫 (小有名气)

[求助] 射频钛酸钡陶瓷靶材变黑

本人做钛酸钡薄膜,用射频磁控溅射钛酸钡陶瓷靶,但是陶瓷靶黑了请问各位大神怎么回事?参数功率80W氩气20sccm,压强1.0pa,时间1.5h

射频钛酸钡陶瓷靶材变黑
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射频钛酸钡陶瓷靶材变黑-1
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学无止境YAO

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 欧姆007 at 2016-11-26 23:06:49
看靶材质量吧 溅射时间为什么那么久 变黑的时候辉光变化是什么?

靶材的问题已经返厂,谢谢。刚开始做想多做一点时间,辉光刚开始紫色后来变白色,正常是什么颜色  知道吗?
7楼2016-11-28 18:32:40
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Friend007

银虫 (知名作家)


1.本底真空度多少?2.靶材质量如何?

发自小木虫Android客户端
2楼2016-11-23 07:16:25
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欧姆007

金虫 (小有名气)

看靶材质量吧 溅射时间为什么那么久 变黑的时候辉光变化是什么?

发自小木虫IOS客户端
3楼2016-11-26 23:06:49
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

没问题的,靶材变黑没事的,不会影响薄膜质量

发自小木虫Android客户端
4楼2016-11-27 07:00:31
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