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射频钛酸钡陶瓷靶材变黑
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本人做钛酸钡薄膜，用射频磁控溅射钛酸钡陶瓷靶，但是陶瓷靶黑了请问各位大神怎么回事？参数功率80W氩气20sccm，压强1.0pa，时间1.5h 338A945C@0A80973B.D4D91E58_recompress.jpg  379ADE86@0A80973B.D4D91E58_recompress.jpg |
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