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ashley_lj

新虫 (小有名气)

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[交流] MOCVD法制备氧化铝薄膜

利用Al2O3作为阻变层，制备MIM结构忆阻器，试验中需要了解阻变特性，故来此求教，除了厚度、表面形貌及粗糙度、晶体中元素成分及比例、透射谱，还有没有其他实验需要去完善。

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1楼 2016-11-15 13:15:42

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kongkong俗

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★
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楼主采用什么方法对材料进行表征的？？

5楼2016-11-15 13:26:27

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查看全部 12 个回答

王倩113251

新虫 (小有名气)

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虫号: 3369143

★
ashley_lj(金币+1): 谢谢参与

沉积的氧化铝，会不会存在一定的氧缺陷，这个建议楼主去做个电学测量吧。

2楼2016-11-15 13:17:28

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东逗豆

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★
ashley_lj(金币+1): 谢谢参与

楼主采用什么材料作为技术有机源？

3楼2016-11-15 13:24:22

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ashley_lj

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by 东逗豆 at 2016-11-15 13:24:22
楼主采用什么材料作为技术有机源？

实验我是采用乙酰丙酮铝作为金属有机源，氧气作为氧化源，利用石英玻璃作为衬底，沉积了非晶及多晶两种Al2O3薄膜。

4楼2016-11-15 13:24:52

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