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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ashley_lj

新虫 (小有名气)


[交流] MOCVD法制备氧化铝薄膜

利用Al2O3作为阻变层,制备MIM结构忆阻器,试验中需要了解阻变特性,故来此求教,除了厚度、表面形貌及粗糙度、晶体中元素成分及比例、透射谱,还有没有其他实验需要去完善。
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kongkong俗

新虫 (小有名气)



ashley_lj(金币+1): 谢谢参与
楼主采用什么方法对材料进行表征的??
5楼2016-11-15 13:26:27
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王倩113251

新虫 (小有名气)



ashley_lj(金币+1): 谢谢参与
沉积的氧化铝,会不会存在一定的氧缺陷,这个建议楼主去做个电学测量吧。
2楼2016-11-15 13:17:28
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东逗豆

新虫 (初入文坛)



ashley_lj(金币+1): 谢谢参与
楼主采用什么材料作为技术有机源?
3楼2016-11-15 13:24:22
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ashley_lj

新虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 东逗豆 at 2016-11-15 13:24:22
楼主采用什么材料作为技术有机源?

实验我是采用乙酰丙酮铝作为金属有机源,氧气作为氧化源,利用石英玻璃作为衬底,沉积了非晶及多晶两种Al2O3薄膜。
4楼2016-11-15 13:24:52
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