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lt梦想家

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[求助] 磁控溅射写论文遇到的一些问题已有2人参与

我是做磁控溅射镀膜的学生，想问几个问题，。
1，磁控溅射镀膜结合力收什么影响，薄膜的硬度和结合力是不是一个增大另一个就减小？
2，为什么很少看文献研究时间过长对薄膜的影响，一般就镀几个小时，过长时间会如何？
3，我在做梯度薄膜，改变气体分压的梯度，镀的是氮气，梯度薄膜对结合力有提升但是我不知道该用什么理论来解释这个问题？

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薄膜制备与特性

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1楼2016-11-14 18:42:56

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lt梦想家

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引用回帖:

2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-11-14 19:37:44
1、受靶材颗粒与基材表面的润湿性、二者热膨胀系数之差的大小等的影响；
2、一般需要镀的膜厚也就几十到几百个纳米，不需要太长时间。否则镀的时间太长和太厚的话可能会发生剥落；
3、原因我也不清楚，估计是由此 ...

我的意思是加入已经确定了靶材和基材类别的情况下做，能有很大提升空间吗，我镀膜都5微米厚了。。这样会导致结合力不好吗？