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lt梦想家

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射写论文遇到的一些问题 已有2人参与

我是做磁控溅射镀膜的学生，想问几个问题，。
1，磁控溅射镀膜结合力收什么影响，薄膜的硬度和结合力是不是一个增大另一个就减小？
2，为什么很少看文献研究时间过长对薄膜的影响，一般就镀几个小时，过长时间会如何？
3，我在做梯度薄膜，改变气体分压的梯度，镀的是氮气，梯度薄膜对结合力有提升但是我不知道该用什么理论来解释这个问题？
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-11-14 18:42:56
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1、受靶材颗粒与基材表面的润湿性、二者热膨胀系数之差的大小等的影响；
2、一般需要镀的膜厚也就几十到几百个纳米，不需要太长时间。否则镀的时间太长和太厚的话可能会发生剥落；
3、原因我也不清楚，估计是由此改变了镀膜的电压所致。
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2楼2016-11-14 19:37:44
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
什么是梯度薄膜？

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3楼2016-11-15 00:08:59
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lt梦想家

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-11-15 00:08:59
什么是梯度薄膜？

氮气分压梯度薄膜，就是不断加大氮气做梯度，提高结合力
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4楼2016-11-15 15:13:25
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lt梦想家

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-11-14 19:37:44
1、受靶材颗粒与基材表面的润湿性、二者热膨胀系数之差的大小等的影响；
2、一般需要镀的膜厚也就几十到几百个纳米，不需要太长时间。否则镀的时间太长和太厚的话可能会发生剥落；
3、原因我也不清楚，估计是由此 ...

我的意思是加入已经确定了靶材和基材类别的情况下做，能有很大提升空间吗，我镀膜都5微米厚了。。这样会导致结合力不好吗？
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5楼2016-11-15 15:14:36
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lt梦想家

金虫 (正式写手)
自己顶
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6楼2016-11-21 11:01:12
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Brigitte

新虫 (初入文坛)
1.结合力首先和基材的表面摩擦度，以及涂膜后产生的内应力有关

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7楼2016-11-22 06:41:23
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Brigitte

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by Brigitte at 2016-11-22 06:41:23
1.结合力首先和基材的表面摩擦度，以及涂膜后产生的内应力有关

个人认为理论上不会出现结合力增强硬度下降的现象
2. 长时间后，得到很厚的膜，内应力增加导致剥落
3. 不知道你的靶材是什么材料，随着N含量的变化，薄膜的化学组成也随之变化，于此同时我认为他的内应力也在变

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8楼2016-11-22 06:46:59
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lt梦想家

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Brigitte at 2016-11-22 06:46:59
个人认为理论上不会出现结合力增强硬度下降的现象
2. 长时间后，得到很厚的膜，内应力增加导致剥落
3. 不知道你的靶材是什么材料，随着N含量的变化，薄膜的化学组成也随之变化，于此同时我认为他的内应力也在变
...

不好意思好久没上了 硬度和基体差距过大不会导致结合力下降吗
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9楼2016-12-09 13:10:30
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penglong66

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by lt梦想家 at 2016-11-15 15:14:36
我的意思是加入已经确定了靶材和基材类别的情况下做，能有很大提升空间吗，我镀膜都5微米厚了。。这样会导致结合力不好吗？...

你好，请问你用的是什么靶材？我用的Ti靶，溅射约1um就发生脱落了。
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加油，可以的，不要为外物所扰。。
10楼2017-02-22 11:55:02
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