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磁控溅射写论文遇到的一些问题已有2人参与
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我是做磁控溅射镀膜的学生，想问几个问题，。 1，磁控溅射镀膜结合力收什么影响，薄膜的硬度和结合力是不是一个增大另一个就减小？ 2，为什么很少看文献研究时间过长对薄膜的影响，一般就镀几个小时，过长时间会如何？ 3，我在做梯度薄膜，改变气体分压的梯度，镀的是氮气，梯度薄膜对结合力有提升但是我不知道该用什么理论来解释这个问题？ |
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 薄膜制备与特性 |
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【答案】应助回帖
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个人认为理论上不会出现结合力增强硬度下降的现象 2. 长时间后，得到很厚的膜，内应力增加导致剥落 3. 不知道你的靶材是什么材料，随着N含量的变化，薄膜的化学组成也随之变化，于此同时我认为他的内应力也在变 发自小木虫IOS客户端 |
8楼2016-11-22 06:46:59
9楼2016-12-09 13:10:30
penglong66
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