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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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青春沦落在

新虫 (初入文坛)

[交流] 在矩形片上甩光刻胶不均匀 已有5人参与

我在矩形片上甩光刻胶,厚度不均匀。光刻胶是s1818,矩形片上是3um的的微坑阵列。哪位大神能有方法在矩形上甩匀

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yswyx

专家顾问 (著名写手)



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矩形,我们都用喷胶来解决均匀性的问题。
你可以看看苏州美图半导体
对于3um的微坑阵列,需要的光刻胶厚度也是3um,对于喷胶来说也有一些难度,但是可以做。
2楼2016-11-14 15:55:36
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青春沦落在

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-14 15:55:36
矩形,我们都用喷胶来解决均匀性的问题。
你可以看看苏州美图半导体
对于3um的微坑阵列,需要的光刻胶厚度也是3um,对于喷胶来说也有一些难度,但是可以做。

好的,我看看你说的那个

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3楼2016-11-14 17:02:29
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exciting73

金虫 (著名写手)



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矩形基片甩胶时边胶会很厚,均匀度很差。用喷涂、辊涂、刮涂等方法好些。
4楼2016-11-17 14:47:02
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光刻电子

禁虫 (正式写手)


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dgf2008: 屏蔽内容, 违规存档, 回帖内容存在与实际不符的内容 2017-01-24 00:51:06
本帖内容被屏蔽

5楼2016-12-09 13:55:27
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偶然556

新虫 (正式写手)


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4楼: Originally posted by exciting73 at 2016-11-17 14:47:02
矩形基片甩胶时边胶会很厚,均匀度很差。用喷涂、辊涂、刮涂等方法好些。

您好,我现在也是用的矩形基片,您说的喷涂方法具体是怎么操作呢,我的胶是SU-82075,黏度比较大
6楼2017-02-17 21:39:05
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地咕噜球

木虫 (初入文坛)


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引用回帖:
6楼: Originally posted by 偶然556 at 2017-02-17 21:39:05
您好,我现在也是用的矩形基片,您说的喷涂方法具体是怎么操作呢,我的胶是SU-82075,黏度比较大...

用离心机甩就可以啊
7楼2017-04-08 19:30:26
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