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王倩113251

新虫 (小有名气)

[交流] GaN薄膜厚度测量方法

目前由于GaN很有潜力，课题组老师让我们去查询资料关于GaN薄膜厚度测量方法，请问虫友有没有做这方面研究的，可以交流一下。

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1楼 2016-10-27 11:42:20
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goahead阿sha

新虫 (初入文坛)
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王倩113251: 金币+1 2016-10-28 09:11:32
我是来科普=====的：楼主正解，GaN前景很好。GaN因宽的禁带宽度、高击穿场强、高峰值电子速度、高饱和电子速度等特性, 因此成为最具潜力的新型半导体材料之一，但是目前缺少合适的GaN 晶体体材料生长方法，目前的GaN 及其合金半导体材料只有大多都是基于蓝宝石和碳化硅等衬底异质外延生长的晶体薄膜。
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2楼2016-10-27 11:44:14
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kiss拉拉拉拉

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王倩113251: 金币+1 2016-10-28 09:11:37
目前GaN 晶体薄膜厚度的确定方法主要是x 射线法、阴极发光光谱(CL)和光致发光(PL)谱等方法.x 射线法通常包含x 射线反射(XRR)、x 射线荧光(XRF)和x 射线衍射(XRD)三种方法。

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3楼2016-10-27 11:55:43
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ashley_lj

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直接用仪器测啊！薄膜厚度测量仪，有这个的呀，我这个非你们专业的人都知道啊 ！
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4楼2016-10-27 11:58:24
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sbnfz207

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楼主若是缺少测量仪器，可以推荐你们去科学指南针平台看一下。
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5楼2016-10-27 12:04:09
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鱼肉粥

新虫 (初入文坛)
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王倩113251: 金币+1 2016-10-28 09:11:17
透射谱也是可以用来确定晶体薄膜厚度的。具体楼主去知网找相应的文章。

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6楼2016-10-27 12:33:15
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王倩113251

新虫 (小有名气)
谢谢啊，其他路过的也希望不吝赐教啊~

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7楼2016-10-27 12:37:57
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Miss_Peng

新虫 (初入文坛)
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测GaN要考虑干涉效应原理和折射率随光子波长变化的影响，楼主可以仔细研究一下啊！
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8楼2016-10-27 20:18:27
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