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求助！MOS结构测高频C-V曲线出现如下图形，是什么原因造成的？？
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MOS结构测高频（1M）C-V曲线，目的是求Qox和Dit，但是扫描出来的图像是这样的，不是标准的S形曲线，是什么原因造成的？器件结构（Ag/氧化层/n-Si/磷扩散层/InGa） |
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