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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » XPS光谱元素比例分析
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ethu

铜虫 (小有名气)

[求助] XPS光谱元素比例分析

小弟为了得知薄膜的元素比例，测量了薄膜的xps光谱，主要是钛、硅和氧三种元素，测量完之后给我一个全谱txt文件，及钛和硅的2p和C的1s精确扫描文件，另外给了钛和硅的2p元素比例。我主要想知道钛和硅的元素比例，我想问一下是不是钛和硅的2p比例就是代表薄膜中钛和硅比例，因为二者是这两个元素最强的峰。
小弟初次测量xps，诸多不懂，请各位不吝赐教。
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1楼 2016-10-24 17:24:12
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fuzp

铁杆木虫 (正式写手)
要考虑两种元素的灵敏度因子

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ethu
2楼2016-10-24 18:23:19
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ethu

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by fuzp at 2016-10-24 18:23:19
要考虑两种元素的灵敏度因子

我有点困惑的地方是因为钛和硅还有其它的峰，比如2s，如果想知道钛和硅的比例，用不用考虑钛和硅的他们的2s的峰呢？还是只要知道钛和硅的强度最大的峰，兼顾灵敏度因子，就可以推算出薄膜中钛和硅的比例呢？
谢谢
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3楼2016-10-24 18:57:46
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