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XPS光谱元素比例分析
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小弟为了得知薄膜的元素比例，测量了薄膜的xps光谱，主要是钛、硅和氧三种元素，测量完之后给我一个全谱txt文件，及钛和硅的2p和C的1s精确扫描文件，另外给了钛和硅的2p元素比例。我主要想知道钛和硅的元素比例，我想问一下是不是钛和硅的2p比例就是代表薄膜中钛和硅比例，因为二者是这两个元素最强的峰。 小弟初次测量xps，诸多不懂，请各位不吝赐教。 |
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