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ethu

铜虫 (小有名气)

[求助] XPS光谱元素比例分析

小弟为了得知薄膜的元素比例,测量了薄膜的xps光谱,主要是钛、硅和氧三种元素,测量完之后给我一个全谱txt文件,及钛和硅的2p和C的1s精确扫描文件,另外给了钛和硅的2p元素比例。我主要想知道钛和硅的元素比例,我想问一下是不是钛和硅的2p比例就是代表薄膜中钛和硅比例,因为二者是这两个元素最强的峰。
小弟初次测量xps,诸多不懂,请各位不吝赐教。
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fuzp

铁杆木虫 (正式写手)

要考虑两种元素的灵敏度因子

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2楼2016-10-24 18:23:19
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ethu

铜虫 (小有名气)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by fuzp at 2016-10-24 18:23:19
要考虑两种元素的灵敏度因子

我有点困惑的地方是因为钛和硅还有其它的峰,比如2s,如果想知道钛和硅的比例,用不用考虑钛和硅的他们的2s的峰呢?还是只要知道钛和硅的强度最大的峰,兼顾灵敏度因子,就可以推算出薄膜中钛和硅的比例呢?
谢谢
3楼2016-10-24 18:57:46
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