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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by fengtaqi at 2016-10-26 10:06:55
15mm的片子可以用匀胶机旋涂的,10um左右的厚度也能保证,只要你有一台比较精细的匀胶机就行了,我做过的,我的片子比你的稍微大一点,20mm的...

请教一下匀胶机的具体型号?
11楼2016-10-26 19:35:54
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sdng

金虫 (小有名气)

12楼2016-10-28 00:34:26
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pointh

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
greeneese: 金币+5, 有帮助 2016-10-31 08:51:26
greeneese: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-10-31 19:38:43
一般的匀胶机应该都可以,尺寸的问题主要在于旋转时底部的托盘,只要配备了相应尺寸的托盘都可以的。
13楼2016-10-28 21:37:16
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
13楼: Originally posted by pointh at 2016-10-28 21:37:16
一般的匀胶机应该都可以,尺寸的问题主要在于旋转时底部的托盘,只要配备了相应尺寸的托盘都可以的。

能否赐教一下哪里大概能有这样合适尺寸的托盘呢?
14楼2016-10-29 13:09:36
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pointh

金虫 (小有名气)

引用回帖:
14楼: Originally posted by greeneese at 2016-10-29 13:09:36
能否赐教一下哪里大概能有这样合适尺寸的托盘呢?...

我当时是在国外的一个光刻间里做的,他们配备了各种尺寸的托盘。
15楼2016-10-31 17:04:47
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by pointh at 2016-10-31 17:04:47
我当时是在国外的一个光刻间里做的,他们配备了各种尺寸的托盘。...

多谢多谢。
16楼2016-10-31 19:42:07
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by greeneese at 2016-10-26 19:35:54
请教一下匀胶机的具体型号?...

匀胶机旋涂光刻胶有一个问题是滴胶旋涂之后多余的胶会甩出去,比如溅到表面皿的边缘。匀胶机可用真空吸附住基片,多大的基片基本都可以甩胶。
17楼2016-12-12 17:09:01
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