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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 除了涂布光刻胶之外，还有什么方法在玻璃的表面上形成10~20 μm厚的透明胶层？
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by fengtaqi at 2016-10-26 10:06:55
15mm的片子可以用匀胶机旋涂的，10um左右的厚度也能保证，只要你有一台比较精细的匀胶机就行了，我做过的，我的片子比你的稍微大一点，20mm的...

请教一下匀胶机的具体型号？
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11楼2016-10-26 19:35:54
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sdng

金虫 (小有名气)
丝网印刷上去吧。

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12楼2016-10-28 00:34:26
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pointh

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
greeneese: 金币+5, ★有帮助 2016-10-31 08:51:26
greeneese: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-10-31 19:38:43
一般的匀胶机应该都可以，尺寸的问题主要在于旋转时底部的托盘，只要配备了相应尺寸的托盘都可以的。
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13楼2016-10-28 21:37:16
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by pointh at 2016-10-28 21:37:16
一般的匀胶机应该都可以，尺寸的问题主要在于旋转时底部的托盘，只要配备了相应尺寸的托盘都可以的。

能否赐教一下哪里大概能有这样合适尺寸的托盘呢？
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14楼2016-10-29 13:09:36
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pointh

金虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by greeneese at 2016-10-29 13:09:36
能否赐教一下哪里大概能有这样合适尺寸的托盘呢？...

我当时是在国外的一个光刻间里做的，他们配备了各种尺寸的托盘。
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15楼2016-10-31 17:04:47
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by pointh at 2016-10-31 17:04:47
我当时是在国外的一个光刻间里做的，他们配备了各种尺寸的托盘。...

多谢多谢。
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16楼2016-10-31 19:42:07
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by greeneese at 2016-10-26 19:35:54
请教一下匀胶机的具体型号？...

匀胶机旋涂光刻胶有一个问题是滴胶旋涂之后多余的胶会甩出去，比如溅到表面皿的边缘。匀胶机可用真空吸附住基片，多大的基片基本都可以甩胶。
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17楼2016-12-12 17:09:01
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