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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 除了涂布光刻胶之外，还有什么方法在玻璃的表面上形成10~20 μm厚的透明胶层？
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 除了涂布光刻胶之外，还有什么方法在玻璃的表面上形成10~20 μm厚的透明胶层？ 已有4人参与

在一次实验中需要在玻底皿的底部玻璃上（15 mm直径，0.13 mm厚度）上铺设一层紧密贴合玻璃表面的、10~20 μm厚的、表面尽可能平整、透明的胶层，然后用这个胶层在玻璃上贴合一个3 mm直径、20~30 μm厚的铜支持网（其实就是TEM用的样品铜网）。

除了涂布光刻胶之外还有什么好办法啊？

用光刻胶似乎是最容易形成这种胶层的方法，但因为加工尺寸太小而且玻璃太薄，常规的光刻设备可能有些限制。

除了涂布光刻胶之外，还有什么方法在玻璃的表面上形成10~20 μm厚的透明胶层？
TEM Grid on Glass-bottom Dish.jpg
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1楼 2016-10-24 09:46:33
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chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用Spin方式将光胶涂布在玻璃片上，控制好胶体浓度和转速基本上做到你的要求
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新知*新世界*心动
2楼2016-10-24 15:46:43
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chenqisong at 2016-10-24 15:46:43
用Spin方式将光胶涂布在玻璃片上，控制好胶体浓度和转速基本上做到你的要求

有在这种尺寸的玻璃上涂布光刻胶的设备和方法吗？
我查到的好多都是在大片基质上涂布的。
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3楼2016-10-24 16:00:11
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fengtaqi

新虫 (初入文坛)
用旋涂机旋涂
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坚持本心，落子无悔~
4楼2016-10-25 11:51:43
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davidloo

禁虫 (职业作家)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
5楼2016-10-25 12:50:01
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by davidloo at 2016-10-25 12:50:01
dip coating?.................

不好意思，不太明白，能否详细指教？
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6楼2016-10-25 13:51:55
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fengtaqi at 2016-10-25 11:51:43
用旋涂机旋涂

有在这种尺寸的玻璃上涂布光刻胶的设备和方法吗？
我查到的好多都是在大片基质上涂布的。
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7楼2016-10-25 13:52:11
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青柠kimmy

铜虫 (正式写手)
类似于制SEM的样，可以匀胶

发自小木虫Android客户端
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8楼2016-10-25 19:06:56
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 青柠kimmy at 2016-10-25 19:06:56
类似于制SEM的样，可以匀胶

不太明白，可否详细指教？
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9楼2016-10-26 08:25:54
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fengtaqi

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by greeneese at 2016-10-25 13:52:11
有在这种尺寸的玻璃上涂布光刻胶的设备和方法吗？
我查到的好多都是在大片基质上涂布的。...

15mm的片子可以用匀胶机旋涂的，10um左右的厚度也能保证，只要你有一台比较精细的匀胶机就行了，我做过的，我的片子比你的稍微大一点，20mm的
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坚持本心，落子无悔~
10楼2016-10-26 10:06:55
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