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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 除了涂布光刻胶之外,还有什么方法在玻璃的表面上形成10~20 μm厚的透明胶层? 已有4人参与

在一次实验中需要在玻底皿的底部玻璃上(15 mm直径,0.13 mm厚度)上铺设一层紧密贴合玻璃表面的、10~20 μm厚的、表面尽可能平整、透明的胶层,然后用这个胶层在玻璃上贴合一个3 mm直径、20~30 μm厚的铜支持网(其实就是TEM用的样品铜网)。

除了涂布光刻胶之外还有什么好办法啊?

用光刻胶似乎是最容易形成这种胶层的方法,但因为加工尺寸太小而且玻璃太薄,常规的光刻设备可能有些限制。

除了涂布光刻胶之外,还有什么方法在玻璃的表面上形成10~20 μm厚的透明胶层?
TEM Grid on Glass-bottom Dish.jpg
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pointh

金虫 (小有名气)

引用回帖:
14楼: Originally posted by greeneese at 2016-10-29 13:09:36
能否赐教一下哪里大概能有这样合适尺寸的托盘呢?...

我当时是在国外的一个光刻间里做的,他们配备了各种尺寸的托盘。
15楼2016-10-31 17:04:47
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chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用Spin方式将光胶涂布在玻璃片上,控制好胶体浓度和转速基本上做到你的要求
新知*新世界*心动
2楼2016-10-24 15:46:43
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greeneese

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chenqisong at 2016-10-24 15:46:43
用Spin方式将光胶涂布在玻璃片上,控制好胶体浓度和转速基本上做到你的要求

有在这种尺寸的玻璃上涂布光刻胶的设备和方法吗?
我查到的好多都是在大片基质上涂布的。
3楼2016-10-24 16:00:11
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davidloo

禁虫 (职业作家)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

5楼2016-10-25 12:50:01
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