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想在sio2或si上面溅射铝机会难得，想问一下有没有那个师兄做过厚度是多少，不知铝在其表面附着效果。需要不需要用cr打底？ 发自小木虫Android客户端 |
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3楼2016-10-22 14:26:41
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
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2楼2016-10-22 13:22:18
叫我小川兄吧
木虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体材料
4楼2016-10-23 13:50:19
lee0803
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- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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看你铝做多厚，一般磁控溅射100~300nm不用Cr打底的.如果做的厚的话，最好用Cr打底，Cr的厚度是Al的5％差不多。1.5um厚度以下工艺算比较常见的，再厚的话就要慢慢调工艺了。不同设备差距还是挺大的。 发自小木虫Android客户端 |
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9089668155楼2016-10-24 16:14:33
