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908966815

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助 微纳制造 已有3人参与

想在sio2或si上面溅射铝机会难得，想问一下有没有那个师兄做过厚度是多少，不知铝在其表面附着效果。需要不需要用cr打底？

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1楼 2016-10-22 10:15:03
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
你试试不就好了

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2楼2016-10-22 13:22:18
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908966815

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-22 13:22:18
你试试不就好了

我们溅射不方便，预约难

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3楼2016-10-22 14:26:41
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
电子束镀膜机试试啊，怕附着不好，试试等离子机打个十分钟

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慎独
4楼2016-10-23 13:50:19
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看你铝做多厚，一般磁控溅射100~300nm不用Cr打底的.如果做的厚的话，最好用Cr打底，Cr的厚度是Al的5％差不多。1.5um厚度以下工艺算比较常见的，再厚的话就要慢慢调工艺了。不同设备差距还是挺大的。

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908966815
5楼2016-10-24 16:14:33
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908966815

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by lee0803 at 2016-10-24 16:14:33
看你铝做多厚，一般磁控溅射100~300nm不用Cr打底的.如果做的厚的话，最好用Cr打底，Cr的厚度是Al的5％差不多。1.5um厚度以下工艺算比较常见的，再厚的话就要慢慢调工艺了。不同设备差距还是挺大的。
...

谢谢师兄

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6楼2016-10-24 18:02:41
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macroH

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

工厂都是Al下面镀Ti的。
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7楼2016-10-26 14:29:26
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母凤文

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

一般需要溅射Cr或者Ti 等金属层增强Al的吸附力。

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科研
8楼2016-10-26 23:06:01
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
大多用Ti

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9楼2016-10-27 08:07:46
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