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tenjames铜虫 (小有名气)
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[求助]
反应溅射氧化铝薄膜的绝缘性问题 已有1人参与
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| 使用氩气和氧气混合气体反应反应溅射Al靶材，沉积形成氧化铝薄膜，基底温度为300℃，氩氧流量比为90：60sccm，溅射压力为0.5Pa，在一层金属薄膜上面反应溅射制膜，两个小时反应溅射制备氧化铝薄膜，使用万用表测量金属薄膜和氧化铝薄膜之间的电阻，为什么有的地方只有几十Ω，没有起到绝缘性，想请教一下，哪里的问题会造成这种结果？ |
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 薄膜制备与特性 |
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yangyu1995
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tenjames
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chennn
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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尝试下不同氧氩比下制备的薄膜，建议降低功率，这样生长的薄膜致密。然后测下不同薄膜的漏电流，选择个最优的。最好测个XPS看看那个比例下制备的是化学计量比。 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2016-10-16 10:29:02