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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 反应溅射氧化铝薄膜的绝缘性问题
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tenjames

铜虫 (小有名气)

[求助] 反应溅射氧化铝薄膜的绝缘性问题 已有1人参与

使用氩气和氧气混合气体反应反应溅射Al靶材，沉积形成氧化铝薄膜，基底温度为300℃，氩氧流量比为90：60sccm，溅射压力为0.5Pa，在一层金属薄膜上面反应溅射制膜，两个小时反应溅射制备氧化铝薄膜，使用万用表测量金属薄膜和氧化铝薄膜之间的电阻，为什么有的地方只有几十Ω，没有起到绝缘性，想请教一下，哪里的问题会造成这种结果？
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薄膜制备与特性

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I love basketball。
1楼 2016-10-14 17:50:57
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beeingfly

新虫 (小有名气)
功率多少

发自小木虫IOS客户端
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2楼2016-10-14 23:13:41
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tenjames

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by beeingfly at 2016-10-14 23:13:41
功率多少

300W的功率
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I love basketball。
3楼2016-10-15 14:24:15
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chennn

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
尝试下不同氧氩比下制备的薄膜，建议降低功率，这样生长的薄膜致密。然后测下不同薄膜的漏电流，选择个最优的。最好测个XPS看看那个比例下制备的是化学计量比。

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4楼2016-10-16 10:29:02
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tenjames

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by chennn at 2016-10-16 10:29:02
尝试下不同氧氩比下制备的薄膜，建议降低功率，这样生长的薄膜致密。然后测下不同薄膜的漏电流，选择个最优的。最好测个XPS看看那个比例下制备的是化学计量比。

我尝试了氧氩比分别为30：90、60：90和70：90的参数，但是做出来的效果都不怎么好
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I love basketball。
5楼2016-10-16 20:31:41
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
我也遇见了同样的问题。制作氮化物的绝缘层，但是起不到绝缘的效果。很纠结。一起探讨一下。是不是上下表面有联通？你的衬底是什么
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有今生 有来生 有因果 有轮回
6楼2016-10-24 08:29:28
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yangyu1995

银虫 (初入文坛)
你用的是什么电源呀？

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7楼2017-04-16 22:22:46
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