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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD热解乙炔沉积碳
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cqzcqz

金虫 (正式写手)

[求助] CVD热解乙炔沉积碳 已有2人参与

大家好，想请教各位大神，如果用管式炉900度热解乙炔来沉积碳，有什么要注意的事项？用纯的乙炔气体有危险吗？
本人CVD小白，第一次做，怕爆炸啊，求大神们指教。
具体的问题还有：
管式炉、流量计和分压阀有没有什么特别的要求？用一般的就可以，还是要特制的？用如图所示管式炉行不行？
出气端出来的残余乙炔气如何收集？需要在通风橱中进行么？

CVD热解乙炔沉积碳
111.jpg
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为梦想而战
1楼 2016-10-09 15:55:18
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yangjie007

金虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by cqzcqz at 2018-03-06 20:43:34
后面用10%乙炔90%氩气混合气，1000度沉积10-20min就行了，就用我给出图片中的炉子，保证管路的密闭性，不会有问题的，祝你成功...

请问楼主，硅包覆碳后如何进行颗粒的分散，如果使用研钵研磨会不会把碳包覆层破坏？望楼主指教！
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18楼2019-10-28 16:28:50
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翰军

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般采用的是1200的炉子，管道的密封一定要做好，这种炉子的建议使用温度1000度以上，温度比较准确！
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2楼2016-10-09 17:18:53
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triplebeer

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
cqzcqz: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-10-11 14:45:06
1，要保证你的系统不漏气，比如可以用泵抽真空，然后在封闭状态下检测是否漏气。
2，可以用惰性气体比如氩气稀释。
3，热解乙炔用不了900度那么高吧。
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3楼2016-10-09 23:55:29
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cqzcqz

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by triplebeer at 2016-10-09 23:55:29
1，要保证你的系统不漏气，比如可以用泵抽真空，然后在封闭状态下检测是否漏气。
2，可以用惰性气体比如氩气稀释。
3，热解乙炔用不了900度那么高吧。

谢谢，那如果用氩气和乙炔气混合的话，比例多少比较合适呢？
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为梦想而战
4楼2016-10-11 14:46:20
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